Leica DM3XL Le système d’inspection pour la microélectronique et les semi-conducteurs
Avec un large champ de vision, le système d’inspection DM3 XL permet à votre équipe d’identifier les défauts plus rapidement et d’augmenter votre taux de rendement. Utilisez le champ de vision augmenté de 30 % de l’objectif macro unique. Le DM3 XL utilise un éclairage LED pour toutes les méthodes de contraste. L’éclairage LED fournit une température de couleur constante et offre une image couleur réelle à tous les niveaux d’intensité.
La vitesse compte dans l’inspection, le contrôle des processus ou l’analyse des défauts et des défaillances pour l’industrie de la microélectronique et des semi-conducteurs. Plus vite vous détectez un défaut, plus vite vous pouvez réagir.
30 % de champ de vision en plus
Avec un large champ de vision, le système d’inspection DM3 XL permet à votre équipe d’identifier les défauts plus rapidement et d’augmenter votre taux de rendement. Utilisez le champ de vision augmenté de 30 % de l’objectif macro unique.
Avec un grossissement de 0,7x, il capture un champ de vision de 35,7 mm à la fois, soit 30 % de plus qu’avec d’autres objectifs de numérisation conventionnels.
Avec l’objectif macro, les défauts n’ont aucune chance :
- Augmentez votre rendement
- Détecter de manière fiable un développement insuffisant au bord ou au centre d’un wafer
- Détecter une épaisseur de film radial inégale
LED pour toutes les méthodes de contraste
Le DM3 XL utilise un éclairage LED pour toutes les méthodes de contraste. L’éclairage LED fournit une température de couleur constante et offre une image couleur réelle à tous les niveaux d’intensité.
Avec une longue durée de vie et une faible consommation d’énergie, les LED ont également un énorme potentiel d’économies.
Optique performante
- Avec le DM3 XL, vous pouvez bénéficier de l’excellence optique à un prix abordable.
- Examinez les côtés, les bords ou les éclats avec un éclairage oblique : éclairez votre échantillon sous différents angles comme un moyen simple et efficace de visualiser les topographies.
- Détectez les micro-rayures ou les petites particules dans les couches inférieures de l’échantillon avec un contraste de fond noir en profondeur.
- En savoir plus sur notre gamme d’objectifs au Centre d’optique Leica.
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